Pike硅晶板测试附件-MappIR II

•8英寸（200mm）硅晶板测试架
•可通过转换盘测6,5,4,3,2英寸硅晶板
•AutoPro软件控制测试样品位
•操作员可选择或预定义的多测试点
•有极坐标和或笛卡尔坐标选项
•实验位置状态实时显示
•支持使用宏/脚本编程
•提供KLA和CSV文件导入功能